第107节 (第3/3页)

离子体?，激发纳米级光子，完成光刻机的曝光步骤。

    视角再向后拉远，饶是有着先进两百年的科技技术的系统也不由为这?号称工业皇冠的euv工作时的内部所震撼。

    激光经过多?重反射镜均匀化、收集，投影掩膜，击中靶材料，获取需求中的等离子体?。

    接下来?是利用收集镜收集等离子体?发散的euv辐射汇聚成光源发送至光刻系统，并经由曝光系统获取最终的ic晶圆。

    但盛明安的团队没有做后面的两步，只设计了光源系统的实验设计。

    一秒钟五万次的高频率，不仅需要确保过程不出错，还必须保证准度、精确度，可量产，以及功率利用最大化等等……

    所以一次的实验结果不能证明什么，他们连续实验多?次，记录数据作比对，计算出一个最优概率。

    键盘噼里啪啦的计算，所有人屏息以待。

    助手姑娘猛然掐住杜颂的胳膊，龇牙咧嘴：“giao！怎么样了？！”

    杜颂也疼得龇牙咧嘴，差点猛男落泪：“我?不知道。”

    助手姑娘又?没想要他回答，眼睛悄悄溜向盛明安，内心呜呜穿防尘服的盛工就算从头包到脚还是无比帅气，所以快点告诉她结果吧！

    盛明安：“各组报告结果。”

    来?了！

    众人振奋！

    一组报告：“二氧化碳脉冲激光器无损，功率消耗在预估范围内，光线利用率成功达到2%！”

    二组报告：“散热系统启动！散热功能正常！”

    三组报告：“传感器反馈激光和液滴同?步对准，激光等离子体?在预估范围内捕获！”

    四组报告……

    随着一个又?一个与仿真?预估无二的报告传入众人耳中，预示着光源系统设备实验验收圆满完成！

    众人憋着一口气没出声，就等着盛明安总结。

    盛明安不负众望，听完各组结果报告，对着扩音器宣布：“高阶光刻机光源系统技术研究项目圆满通过验收，”他稍稍提高音量，“我?们的科研项目，激光等离子体?极紫外?光刻光源是——”

    “13.5nm！”

    原本想欢呼的众人脸上刚升起的笑容陡然僵住，瞳孔逐渐放大，呼吸急促，不敢置信，纷纷以为自?己的耳朵坏了，他们出现?了幻听。

    盛明安语气里流泻出轻松的笑意：“恭喜大家。”

    见众人没反应，他回头，疑惑：“你们不满意吗？”

    林成建也懵了，小心翼翼地询问：“盛工，你刚才说?13.5nm……不是16nm？”

    同?盛明安争论了将近半个月早已震惊过的程院长好笑地环顾众人表现?不一的样子。

    雷客比林成建还小声轻柔：“比asml euv的14nm还精确了0.5nm？”

    杜颂捂着心脏，喃喃说?道：“不是吧……我?整天研究的就是这?么牛逼的玩意？”

    助理姑娘掐得更?狠了，但杜颂激动的灵魂和兴奋的神经可以抚平身?体?的疼痛。

    “啊，”盛明安下意识看向陈惊璆：“你们都有异议吗？”

    陈惊璆惊讶过后便是一笑：“没有异议。他们惊喜过头了。”

    盛明安又?看向林成建等人，谁知他们面面相觑，陷入沉默，一秒、两秒、三秒……“啊啊啊啊——！！！”

    猛然爆发的尖叫声继续震破实验室的天花板，要不是固化玻璃隔绝了噪声污染不会影响到实验室设备，热爱实验室设备的盛明安就该拉下脸，而负责掏钱买设备的陈惊璆应该会冷脸赶人出去了。

    但无伤大雅的此刻，他们纵容每一个团队成员尽情?放纵无以言表的兴奋和激动。

    第70章 山巍[02] 挽狂澜！